대전시는 산업통상자원부가 주관하는 산업혁신기반구축사업의 일환인 ‘EUV* 검사기 장비 기술 및 인프라 구축 공모’에 선정돼 국비 100억 원을 확보했다.
* EUV(Extreme UltraViolet, 극자외선) : 극자외선 광원을 이용하는 반도체 노광장비로, 첨단반도체 수요가 늘어남에 따라 필수장비인 EUV 분야 시장이 크게 성장하고 있음

이번 사업은 2024년부터 2028년까지 5년간 추진되며, 국비 100억 원, 시비 22억 원, 민간 부담금 21억 원 총 143억 원이 투입된다.

공모 선정에 따라 한국표준과학연구원(원장 이호성)주관 아래 대전테크노파크, 반도체연구조합, 광운대학교, 전남대학교 등이 참여하여 EUV 공정용 소재·부품·장비 개발품에 대한 성능 및 신뢰성 검증, 실증 평가 등을 담당할 성능검증평가센터를 구축, 소부장 기업의 기술사업화를 지원할 계획이다.

이번 사업을 통해 대전 소재 반도체 기업은 인증평가서비스 이용 시 비용 50% 감면 혜택과 기술 자문을 받을 수 있어 반도체 소부장 관련 지역 기업 성장에 속도가 붙을 것으로 기대된다.

한선희 대전시 전략사업추진실장은 “출연연의 우수한 기술을 바탕으로 대전 반도체 소부장 기업의 기술 상용화가 활발히 이루어질 것으로 기대된다”라면서 “첨단반도체 핵심인 EUV 시장에 대전 기업이 진출할 수 있도록 앞으로도 지원을 아끼지 않겠다”라고 밝혔다.

강상우 표준연 전략기술연구소장은 “외국이 독점하고 있는 EUV 기술을 국산화하기 위해 국내 처음으로 Stand-alone 검사장비 활용 EUV 소부장 검증인프라가 구축되는 사업으로서 의의가 크다”라며 “반도체 소부장 산업 육성에 최선을 다하겠다”라고 말했다.

한편, 대전시는 국내 최초로 Stand-alone EUV 평가시스템 활용 소부장 성능검증 및 lab to pilot scale-up 전주기 지원 인프라를 구축하여 고부가가치 EUV 신시장 산업을 육성하고 이를 발판 삼아 첨단 반도체산업 혁신생태계 거점 도시로 도약한다는 계획이다.

표준연 내에 EUV 소부장 성능검증평가센터를 설립하여 ▲Z-Pinch EUV 광원 ▲LPP EUV 광원 ▲HHG EUV 광원 ▲EUV 감도 검사기 ▲EUV 파워 측정기 ▲EUV 분광기 ▲펠리클 투과율 측정기 ▲EUV 반사경 측정용 진공챔버 등 주요 장비를 구축한다.

이를 기반으로 해외 표준기관과 협력하여 EUV 소부장 시험평가 국제표준을 확립하고, EUV 검사기 플랫폼을 활용한 시제품 제작지원, 기술지도 및 실증지원을 통해 국내 EUV 소부장 기업 기술 선도를 지원한다는 구상이다.